乐卫平

　　◎记者 刘逸鹏

　　这是一场关联信心与决心的“长跑”。

　　十二年的时分，从一间不及100泛泛米的办公室起步，到成为成本阛阓的“新兵”——深圳市恒运昌真空工夫股份有限公司（下称“恒运昌”）作念对了什么？

　　“最先是信心，我恒久确信，中国半导体产业会杀青自立自立；其次是决心，闯出一条新路，不一定能够收效，然则要是不迈出第一步，那都备不会收效。”坐在镜头前，恒运昌董事长乐卫平整理了一下西装，又微微调理了坐姿，口中的谈话鲜有停顿。

　　1月28日，恒运昌在科创板挂牌。“上市是一个新的起始，咱们不舒适于仅杀青自主可控，恒运昌的愿景是成为一家围绕等离子体工艺提供中枢零部件全体处置有绸缪的平台型公司。”乐卫平说。

　　在破绽中寻找“火种”

　　2013年，中国半导体产业还处于萌芽阶段，国产半导体零部件装备在晶圆厂中果真莫得一隅之地。

　　彼时，乐卫平也曾在好意思国AE公司责任了十一年，他见证了国内客户的无数窘境——国内晶圆厂的竖立和坐蓐轮换完全参照好意思国，装备清一色来自国外，不仅莫得订价权，也无法保证托福期。

　　这种“卡脖子”的窘境，颠簸了乐卫平创业的决心。“尽管这意味着要废弃外企的优越待遇，但我绝不游移。”乐卫平示意。

　　在深圳市宝安区一间不到100泛泛米的办公室内，乐卫平运行了创业“长跑”，并将所在定于等离子体射频电源系统。这并不是一个简便的电源开荒，它是半导体制程中薄膜千里积、刻蚀等中枢工艺截止的“腹黑”。

　　团队最先唯一5名职工，濒临着资金、东说念主才、阛阓信任等省略情趣。在果真莫得收入的情况下，乐卫平仍决定将有限的资源一都参预居品研发。

　　尔后三年，在这间办公室里，团队成员践规踏矩，反复在工夫上进行钻研。公司账上的资金，很快就捉衿肘见，最辗转时，连工资披发都濒临压力。“可攻坚战莫得捷径，a8体育app越是中枢、越是阻难，一朝冲破，价值就越大。”乐卫平说。

　　2015年，恒运昌第一代1KW工业级射频电源问世，在客户端测试中，其性能仍有短板。

　　面对辗转，乐卫平莫得泄劲，运行了愈加通常地驰驱。“作念研发要耐得住并立孤身一人，赢得阛阓的认同更是一个漫长的周期。”乐卫平称。

　　2017年，在一场行业展会上，乐卫幽闲定了国内薄膜千里积开荒龙头企业拓荆科技。“其时，他们相同处于国产化攻坚的早期阶段。梗概是两边都秉握着国产化的鉴定信念，才为背面的互助埋下了伏笔。”乐卫平说。

　　从“破冰”订单到国产龙头

　　时于本日，乐卫平仍光显难忘，2018年，拓荆科技在研发PECVD（等离子体增强化学气相千里积）开荒时，一分彩急需定制开发一套国产射频电源系统。他带着扫数这个词公司的8名共事，从深圳飞到沈阳，与拓荆科技团队进行了一整天的工夫调换。“责任餐都是在会议室吃的。”他回忆说念。

　　伴跟着初度互助的详情，愈加重荷的跋涉运行了。恒运昌组建了专项团队，针对拓荆开荒的具体工艺需求，运行了高强度的定制开发和测试迭代。从样品初研到反复送样，从性能参数优化到工艺适配调理，扫数这个词过程握续了近三年。

　　2020年底，恒运昌的等离子体射频电源系统居品厚爱通过拓荆科技的考据，并赢得首批批量订单。“这个订单，是恒运昌气运的改换点。它不仅带来了至关重要的现款流，更重要的是，它像一块垫脚石，为恒运昌在行业内设置了最先的信用背书。咱们的居品通过了最严格的实战考试。”乐卫平说。

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　　尔后，中微公司、朔方华创、盛好意思上海等国内主要半导体开荒商接踵成为恒运昌的客户，考据周期也缩小至一年之内。

　　此外，恒运昌的居品线也从CSL系列，迭代至可复古28纳米制程的Bestda系列，再到冲破7纳米至14纳米先进制程的Aspen系列，部分重要绸缪已达到与国外龙头企业次新一代居品同等工夫水平。2021年，恒运昌向中芯国际托福的居品，杀青了刻蚀开荒用射频电源的初度国产原位替换。

　　阛阓数据相同印证着恒运昌的成长：2024年，恒运昌在中国半导体行业等离子体射频电源系统的国产厂商中，阛阓份额位列第一，在该细分限制的国产化程度中上演了重要扮装。

　　从“卡脖子”到“掰手腕”

　　当下，恒运昌也曾驶入增长的快车说念。若何均衡速与质的联系，保证每一台出厂的电源都达到“精密复制”的半导体级品性，成为公司濒临的不绝挑战。

　　“恒运昌的应酬之策是遵循质地历程，从研发、坐蓐到售后，设置严格的全历程管控体系。咱们绝不会因为托福压力而降劣品性轮换。”乐卫平说。

　　招股书泄露，2022年至2024年，恒运昌的营收从1.58亿元增至5.41亿元，净利润从2618万元增至1.42亿元，营收及净利润的复合增长率区分高达84.91%和131.87%。2022年至2024年，公司产能哄骗率相聚晋升100%。

　　乐卫平告诉记者，登陆科创板，召募资金用于扩产和研发，也曾成为恒运昌发展的势必接纳，亦然公司战术升级的主动布局。

　　凭证计较，恒运昌本次IPO募资将主要用于沈阳产业化基地、深圳智能化坐蓐基地及研发中心竖立。其中，沈阳基地将要点处置产能瓶颈，统筹区域内上风资源；深圳基地和研发中心则旨在拓展居品线，并向光伏、显出头板等更迢遥的应用限制进击。

　　当今，恒运昌的第三代Aspen系列居品在调谐时分、功率精度等重要绸缪上也曾能够并列国际龙头的次新一代居品；公司也启动了剑指5纳米及以下制程的第四代居品研发，旨在杀青与国际最先进居品的“并跑”。

　　从被“卡脖子”到尝试“掰手腕”，恒运昌不仅要杀青自主可控，改日更要握续与国际巨头同台竞技，在公共半导体产业链中占据一隅之地。“天然，前路依然漫长，但朝阳也曾可见。”乐卫平说。

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